インフィコン

横浜市港北区,  神奈川県 
Japan
http://www.inficon.jp/
  • 小間番号2428


インフィコンは真空計測器ならびに半導体産業むけのセンサ技術、プロセス制御ソフトウェア取り扱うリーディングカンパニーです。

  • リークディテクター:新製品デモ実演!! 高速測定で時間を節約するインテリジェント機能(I-CAL, HYDRO-S, I-ZERO)搭載モデル。
  • 質量ガス分析計:各種真空装置の残留ガス分析、半導体各種プロセスPVD・CVD・ETCHプロセス対応の先進モデルをラインナップ。
  • 膜厚計(水晶振動子):5MHz、6MHzのラインナップはもちろん、様々な環境にマッチした水晶振動子を提案。他社製からの置き換え提案も可能。
  • 真空計:コンベクションピラニゲージ、ヌードゲージ、見やすいディスプレイ付真空計。限られたスペースに小型な真空計。急激な圧力変動を捉える高速応答性隔膜真空計。磁場漏れなしの冷陰極ゲージ(特許取得)。EtherCAT対応真空計。


 出展製品

  • 質量ガス分析計 Transpector
    インフィコンが提供する各種RGAは、各種プロセスガス中の不純物及び混合ガスの変動を極めて高い感度で検出することができる、リアルタイム・プロセスモニターです。...

  • インフィコン社製プロセスモニターは多くの半導体量産工場に導入されており、プロセス中の異常をリアルタイムに検出しアラームを発生することで製造装置の稼働を制御し、グレーロット/ウェーハの削減、歩留まり向上および安定した高品質デバイスの製造が可能になります。さらに、本システムの導入により従来の品質管理工程の一部も削減することになりコストの削減が可能です。

    また、デバイスの高集積・微細化および、エンドユーザー様からの品質保証要求の増加に伴い、膜質を管理/保証する為にプロセス中のリアルタイムモニターは不可欠となってきています。Transpectorシリーズは、半導体・その他のあらゆる真空プロセスの管理にも貢献します。

  • オプティカルガス分析計 Quantus
    プラズマを利用したQuantus LP100ガス分析計は、重要なプロセス環境での汚染やエンドポイントをリアルタイムで検出します。...

  • 多くのプロセスはごくわずかな汚染によっても影響を受けまた、技術の進歩によってこれらのプロセスは限界へと近づきつつあるため、汚染の防止がより重要になっています。Quantus LP100は、敏感なプロセス環境の小さな変化にも速やかに反応するように設計された、製品不良を最小限に抑え、歩留まりの改善に貢献できる製品です。

    http://www.inficon.jp/product/opti/o310/

  • 半導体製造装置FDCソフトウェア FabGuard
    FabGuard IPM (Integrated Process Monitoring)は、FDC(Fault Detection and Classification) 機能と強力な解析ツール、およびインフィコン製センサーを統合し、半導体装置の状態やプロセスを効率よく分析することができます。...

  • FabGuard IPMはウェハーサイズ・製造プロセスを問わず、SECS/HSMS通信により驚くべき種類の半導体装置に接続することが可能です。また、SEMIスタンダードの装置以外にもOPCサーバーを介してPLCとの通信にも対応しています。FabGuard IPMは装置メーカー純正のFDCソフトが複数混在する事を防ぎ、オペレーションの統一化、作業効率の向上に貢献します。

    FabGuard IPM
    半導体装置とプロセスの監視

  • 真空計 INFICON
    インフィコンでは、正確な圧力計測と制御用としてコンパクトなコンビネーション真空計をフルラインで取り揃えています。幅広い製品群や技術および費用効果に優れたソリューションにより、インフィコンはあらゆる産業や半導体アプリケーションなどにおいて多くのお客様の良いパートナーとなるべく努力しております。...
  • ヘリウムリークディテクタ UL3000 Fab
    INFICON が漏れ検査が市場の標準になります。UL3000 Fab は、真空部品を含む半導体製造装置およびFPD 製造装置でのリークテスト要求に開発されており最高のスピードと最適な使いやすさを提供します。...

  • UL300 Fab のプロモーションビデオはこちら

    The INFICON helium leak detector UL3000 Fab (PLUS) is designed for the needs of leak testing in semiconductor applications.

    http://products.inficon.com/en-us/nav-products/product/detail/dry-helium-leak-detector-ul3000-fab/


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor