フォーユー

北葛飾郡松伏町,  埼玉県 
Japan
http://www.foucorp.com/
  • 小間番号3147

  1. 日本TRL社製 MRLD( Memory based Reconfigurable Logic Device)

 メモリーブロックをコアとした、論理回路の再構成可能なロジックデバイスです。既存のFPGAに比べ約5倍の動作周波数、約1/10 の消費電力(同じサイズ)です。110nmサイズMRLD2、MRLD-Fを量産予定です。MRLD2は、MRLD機能に豊富なアナログ機能を搭載し、モーターや、各種センサーの制御基板をIC化出来る、新しいLSIです。モーター使用機器、各種センサー使用機器等の未来を変えるLSIです。

2)ドイツPLASUS社製プラズマ発光モニター&コントローラEMICONシリーズ、発光分析ソフトSpecLine

 プラズマ装置のリーク監視、コンタミや成膜異常等の原因調査を簡単に出来ます。SpecLineは、世界標準の公的機関(NIST等)の約60万種類のデータベースで波長の同定を自動で行い、コンタミの材料調査に役立ちます。発光強度を表示しますので、経時変化が確認出来ます。

3)ドイツMagpuls社製HIPIMS用電源

 HIPIMSプロセスは、半導体製造においても、スパッタプロセスで脚光を浴びている技術です。Magpuls社独自の技術により、パルス電源内に電力を蓄電し、2つの出力(±)が出来ます。この技術で、世界最高レベルでの高速パルスでハイパワーが出力出来ます。パルス電源内に電力を蓄電し、2つの出力出来る事が、電源のコンパクト化、消費電力削減、低価格に貢献しています。


 出展製品

  • TRL社MRLD(MRLD( Memory based Reconfigurable Logic )
    メモリーブロックをコアとした、論理回路の再構成可能なロジックデバイス...

  • MRLDは、既存のFPGAに比べ約5倍の動作周波数、約1/10 の消費電力(同じサイズ)です。110nmサイズMRLD2MRLD-Fを量産予定です。MRLD2は、MRLD機能に豊富なアナログ機能を搭載し、モーターや、各種センサーの制御基板をIC化出来る、新しいLSIです。モーター使用機器、各種センサー使用機器等の未来を変えるLSIです。

  • PLASUS社製プラズマ発光モニター&コントローラEMICONシリーズ、発光分析ソフトSpecLin
    プラズマ装置のリーク監視、コンタミや成膜異常等の原因調査を簡単に出来ます。...

  • EMICONは200~1100nm、1.4nmFWHMの広範囲、高分解能で、プラズマ発光のモニターと反応性スパッタプロセスのPID制御、エッチングプロセスのエンドポイントが出来ます。

    SpecLineは、世界標準の公的機関(NIST等)の約60万種類のデータベースで波長の同定を自動で行い、コンタミの材料調査に役立ちます。発光強度を表示しますので、経時変化が確認出来ます。

  • Lighthouse WorldWide Solutions社パーティクルカウンタとモニタ
     製品名:エアー用と純水用パーティクルカウンタ各種とモニタリングシステム  概要:計数最小粒子はエアー用は0.1μmから、純水用は30ナノmから。測定場所へ設置するリモートタイプと、持ち運んでどこでも測定できるポータブルタイプ、片手で操作できるハンドヘルドタイプなど多彩なモデル群がご利用できます。またリアルタイムでデータを収集し、警報や多彩な表示を提供できるソフトウエアを含んだモニタリングシステムも提供しております。 ...

  • ​●もう一段高いレベルの環境モニタリングプログラムをお求めの方の為に開発されたのがこの Apex Z シリーズです。  Apex Z シリーズの注目機能は、業界で最も完成された自己診断システム内蔵、シール ドされた筐体で拭き掃除が簡単な事、また全ての主洗浄液に対し化学的な耐性がある事など、 その他まだまだあります。 ライトハウス社は最初にリリースした製品でパーティクルの計数というものを再定義した会 社として有名になりましたが、状態を表示する LED 警告灯をハンドルに組み込んだスマート デザインや、リモートコントロールやコンフィグレーションのアプリケーション対応性、WiFi やブルートゥース内蔵、ホットスワップができる 11 時間稼働のスマートバッテリーを搭載し た Apex Z シリーズをリリースで、今また、インパクトを与える事になりました

    ●ハンドヘルドパーティクルカウンターは両手で操作できない様な場所でも使える様に 人間工学を設計に取り入れた、軽量で操作性抜群のモバイルパーティクルカウンタです。 サイズの異なるパーティクルを同時計数できる 6 チャンネルを有し(3013 は標準 3 チャ ンネル)、温度と湿度も同時に計測できます(3013 は除く)。 パーティクル計数の累積データや差分データ、温度や湿度データも見易いタッチスクリー ンに表示でき、そのデータを 3013 は USB ポートから、その他のモデルは RJ-45 の通 信ポートからデータ転送できます。 リムーバブル(3013 は固定)で充電式のリチウムイオン電池を搭載しており、長時間の 使用ができます。また 3016-IAQ は質量濃度(μg/㎥)を測定できます。

    ●超純水や化学溶剤中のナノサイズ(25nm、30nm、50nm、65nm~)のパーティクルを 正確に計数できる、半導体レーザーを採用した最高感度の液中パーティクルカウンタです。 NanoCount25+、30+、50+には TFT カラータッチスクリーンとマニュアルのフローコ ントローラが搭載されていますので In-Situ のスタンドアロンのパーティクルカウンタと して活用する事も、またビルトインの豊富な通信機能を使えば貴社の集中モニター管理シ ステムに簡単に組み込んで活用する事もできます。

  • Magpuls社製HIPIMS用電源
    HIPIMSプロセスは、半導体製造においても、スパッタプロセスで脚光を浴びている技術です。Magpuls社独自の技術により、パルス電源内に電力を蓄電し、2つの出力(±)が出来ます。この技術で、世界最高レベルでの高速パルスでハイパワーが出力出来ます。パルス電源内に電力を蓄電し、2つの出力出来る事が、電源のコンパクト化、消費電力削減、低価格に貢献しています。...

  • ・DC電力をパルス電源の蓄電器に蓄えます

    ・高速電力出力SW(IGBTs)により、電力をプラズマに出力

    ・ICBTs SWを制御し、最大8種類の違ったモードで電力を出力

    ・高速電流検出器と検出方法で、Arc発生を最小限に制御

    ・パルス列編集器でパルス列の設定

    ・信頼性のあるLinux OS

    ・パルス周波数;0.05Hz~50KHz

    ・最大パルス電流;2KHz@200~1500A

    ・パルス設定時間;5.0 µs up to 100 sec


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor