やまなし薄膜技術開発

中巨摩郡昭和町,  山梨県 
Japan
http://www.nakayass.co.jp/
  • 小間番号3349

各種ディスプレイ、タッチパネル、太陽電池には透明導電膜が使われています。我々は現在主流の酸化インジウムスズ(ITO)に替わるレアメタルレスな材料としてガリウム添加酸化亜鉛(GZO)に着目し、汎用スパッタ技術よりも低損傷な成膜が可能な独自のプラズマ支援堆積技術を開発しました。この技術により、現行技術の5%の価格で提供することが可能な薄膜製品と成膜装置の販売を行う。開発した成膜装置は独自の直立ロール・ツー・ロール方式を採用することでフレキシブルデバイスへの対応が可能かつ現行の水平式装置と比較して50%以下の床面積で設置可能な利点を有します。