プロセスで発生する反応生成物や粉塵がチャンバー内や排気系に蓄積しております。
プロセス中にポンプが緊急停止するとチャンバー内の粉塵の舞い上がりや配管等からのチャンバー内製品汚染を引き起
こす原因となります。
チャンバーガードを使用することでポンプの停止の際に排気系を瞬時遮断することにより、粉塵の逆流を防止し製品をコンタミネーションから守ります。
特徴
差圧によりバルブを瞬時閉する構造のため動作のための電源が不要
非加熱、加熱タイプ選択可能
メンテナンスサイクル低減で稼働率向上
NW40-NW100 配管に対応