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14年連続でセミコンJAPANに出展してます。これからも宜しくお願いいたします。
装置メンテに使う便利ツールを開発しています。
ワイヤレスでウエーハライク形状のレベル測定、振動測定、画像処理による一測定、静電容量によるギャップ測定、気中パーティクル測定、振動＆レベル＆温湿度測定を合体させたマルチセンサー、そして今年の新製品は、
より薄く軽量になった厚み3.5mmの振動レベルセンサーです。