ナノ位置決めステージ
⾼精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。450°に至る高温、超⾼真空、高磁場等の極限環境そして、非磁性に対応。ナノメートルの高い精度で、センチメートルオーダーの広い可動範囲の位置決め動作を提供します。
ステージの種類は、直進(リニア)、回転、ゴニオメトリック、スキャナーがあり、いずれのステージ種類にも位置センサ内蔵のクローズドループ制御モデルがございます。モジュール式設計のため、個々のステージ(リニアド、回転、ゴニオ)を組み合わせて、最大6軸までのマルチアクシス(多軸)システムを構築できます。お客様のニーズに合わせた統合ナノポジショニングソリューションの開発も、同社の経験豊富な熟練のエンジニアがお手伝いいたします。
レーザー⼲渉式センサ
ファブリーペロー⼲渉計に基づいたセンサで、さまざまな材料や形状に対して1pm分解能、数ミリメートルから最大5mまでの作動距離を実現。更に専用のソフトウェアとセンサヘッドの使用で最長30メートルまで測定距離を拡張可能です。特許取得済みのファイバーベース技術で、モジュール式のセットアップと⾮常にコンパクトなセンサヘッドが特⻑。多様な材質や極端環境(超⾼真空、極低温、⾼磁場)にも対応できます。
また、広範なデジタルおよびアナログのリアルタイムインターフェースとプロトコルにより、位置データの送信を間便化。リアルタイムデータ通信用の高速インタフェースには、AquadB、独自のシリアルワード(HSSL)、合成アナログ sin / cos /リニアアナログ出力信号がありご利用可能です。 信号は全て、シングルエンド(LVTTL)または差動(LVDS)のいずれかとして出力できます。