静電気の力で塗布する液剤を微小サイズ(数μmレベル)まで細かい液滴にします。このレベルの液滴はほとんど目視で確認ができません。また液滴が微小で軽すぎる為に通常であれば基材に落下せず、多くは霧のように漂ってしまいますが、この工法は静電気力で吸い付けるように基材に塗布する為、このような微小な液滴で基板に吸い寄せるようにコーティングが可能となります。
私共ではこの特殊なスプレーコーターを製造販売しております。また弊社横浜センターにはデモルームを完備しており、その効果を体験して頂けます。
展示会場に小型機のPDR-04型を展示します。是非ともご来場ください。
https://www.nagase-nte.co.jp/product/mm.html
フォトレジスト、溶剤、微粒子を含む液剤、高粘度材料のコーティング