・本体寸法:340Wx240Dx250H(コントロールBOX,PCは別置き)
・本体重量:約8kg(標準仕様時)
・電源:AC100V
・EPISセンサー
①画素サイズ12μタイプ:ピクセル数 1080x1080、10fps
②画素サイズ5.6μタイプ:ピクセル数 2304x2304、8fps
共に検出エリアサイズは約13mmx13mm
・CCDカメラ(PCにUSB接続)
1/4inch CMOS
倍率:約10~230倍、白色LEDライト8灯、解像度VGA(640x480)、約30万画素
測定目安機能付き、フレームレート30fps
・可動ストローク長
Z軸(EPISおよびCCDカメラ連動):75mm(粗動/微動の2段階)
X軸(EPISおよびCCDカメラ連動):120mm
Y軸(CCDカメラ単独移動):80mm
・EPIS圧力センサー内蔵(コントロールBOX圧力表示付)