SAKAGUCHI E.H VOC CORP.

Chiyoda-ku ,  Tokyo 
Japan
http://www.sakaguchi.com
  • Booth: 3827


熱のことならお任せください!

当社は産業用ヒーターや温度センサー、コントロールユニットなど5,000点以上のアイテムを取りそろえ、大型設備や装置も手がけています。

セールスエンジニアがお客様のご要望を聞き、加熱対象、加熱用途などを考慮した最適な製品とソリューションをオーダーメイドで提供することを得意としており、多岐にわたる長年の知見でご要望に応えます。

会期中は新製品のジャケットヒーターや温調器、水素アニール技術を基盤とした新技術を搭載した「ミニマルレーザ水素アニール装置」の実機ほか、高温から低温まで各温度域に対応した各種ヒーター、温度センサーなど熱に関する様々な製品を展示します。

熱に関するご相談・ご要望等ございましたら何なりとお申し付けください!

ヒーター


 Products

  • ミニマルレーザ加熱装置
    ミニマルファブは、2007年に産総研で提唱された多品種少量生産に適した超小型デバイス製造システムです。弊社はレーザ加熱装置の開発を担当しています。...

  • ■ミニマルレーザ加熱装置

    半導体製造におけるアニール工程(酸化・拡散・シンタリングなど)に使用できます。

    ◆特長

    φ12.5mmウェハ(枚葉処理)

    コンパクトな筐体(幅約30cm)

    クリーンルーム不要

    低消費電力(定格AC100V 10A)

    急速昇降温(1200℃まで1.5秒)

    2つのレーザでウェハを均一に加熱(酸化膜均一性 1.3%)

    ウェハ温度を細かく制御でき、温度追従性に優れる。

  • 原子レベルアンチエイリアス熱処理ミニマル装置
    【NEW!】水素アニール技術を基盤とした新技術を搭載しています。シリコン微細構造の原子レベルでの平滑化と丸め制御により、様々な分野・用途におけるMEMSデバイスの高性能・高信頼性を実現できます。...

  • ■原子レベルアンチエイリアス熱処理ミニマル装置
    東北大学 金森義明教授・産総研・(一社)ミニマルファブ推進機構との共同開発の水素アニール技術を基盤とした新技術を搭載しています。
    参考動画(こちら)を公開しております。併せてご参照ください。
    ◆特長
    φ12.5mmウェハ(枚葉処理)
    コンパクトな筐体(幅約30cm)
    クリーンルーム不要
    低消費電力(定格AC100V 10A)
    超高真空対応(5 × 10 -5 Pa 以下)
    急速昇降温(1100℃まで2.5秒)
    安定した温度制御(1100℃±0.5℃)
    均一温度分布(ばらつき(σ/Ave.)0.5%)
  • EMIFINE (Insulated Jackets/Heating Jackets)
    【NEW!】This is a heat insulating material that uses glass fiber made by our original method. It is 20% more energy efficient than conventional materials, has excellent heat retention properties, and is 30% lighter than conventional heat insulators....

  • ■EMIFINE  Heating Jackets
    Heating Jackets can be used in various fields, such as heating of piping lines and baking of vacuum equipment, as they are easily detachable and easy to use.
    ■EMIFINE Insulated Jackets
    This is a lightweight, heat-insulating material using glass fiber.

    ◆Applications
    ・Heat insulation and insulation of valves and flanges, etc.
    ・Heat insulation for steam pipes, heat exchangers, reactor towers, etc.
    ・Heat insulation and heat insulation for transportation equipment
    ※EMIFINE is a registered trademark No. 6280005.

  • Ceramic Heater
    We have a wide variety of types, including micro ceramic heater series and small aluminum nitride ceramic heaters....

  • ■Micro Ceramic Heater Series
    We handle products for 1000℃, 600℃, and 500℃.
    These are small heaters with high-temperature heat-resistant heating elements printed on alumina substrates with high precision.
    ■Compact Aluminum Nitride Ceramic Heater (WATLOW ULTRAMIC)
    Rapid heating and cooling is possible with aluminum nitride substrate, which has outstanding high thermal conductivity among ceramics.
    The heater has a built-in K thermocouple, which provides excellent temperature sensing characteristics and safety.
  • Flexible Heaters
    A wide variety of flexible heaters are available. With our sophisticated etching technology, we can produce various shapes with uniformity of temperature distribution....

  • ■Super Rapid Heater (Maximum operating temperature 600℃)
    The heating element is bonded between mica plates with excellent heat resistance and integrally molded into an ultra-thin form.
    ■Silicone Rubber Heater
    A flexible type of surface heating element with a thickness of less than 1mm.
    A variety of types are available, such as ”SAMICON 420” (maximum operating temperature: 400°C), ”SAMICON SUPER 340 II” (maximum operating temperature: 300°C), and ”Samicon 230” (maximum operating temperature: 230°C).
    ■SAMICON Polyimide Heater (maximum operating temperature: 300°C)
    Polyimide film of 0.2mm or less in thickness provides good temperature rise response, and low outgas makes vacuum use possible.