クレステック

八王子市,  東京都 
Japan
http://www.crestec8.co.jp/index.html
  • 小間番号5732


電子線描画装置メーカーのクレステックです。受託描画サービスも行っております。お気軽にお立ち寄りください。

クレステックは、ポイントビーム型の専用メーカーとして25年以上、国内外に多数のEB描画装置を納入しております。装置の販売のみならず、EB描画の受託加工サービスも行っております。世界最高レベルの加速電圧を誇る130kVのXYZ型描画装置CABL-UHシリーズも販売しております。

 出展製品

  • CABL-UH
    高加速電圧の採用により、レジスト内の電子線の前方散乱が少なく、より微細な加工が可能な電子線描画装置です。...

    • 電子線描画装置においては、長時間安定した高電圧による電子線が必要です。そのためには微小放電が限りなくゼロでなければなりません。しかし高電圧には放電現象がつきもので、微小放電はどうしても発生してしまいます。クレステックはその微小放電がほとんど発生しない構造の鏡筒を新たに開発し、長時間安定稼動を実現しました。
    130kVの加速電圧は1段加速で生成し、従来の多段加速による電子銃よりも短い構造となっています。この1段加速の設計により、低収差でクーロンぼけの少ない電子光学系が実現しました。結果として、従来よりも大電流で高解像度の描画が可能となったのです。また130kVの高加速描画は50kVと比べると、レジスト内の電子線の前方散乱が少なく、より微細な加工が可能となります。
  • CABL-AP
    研究開発等様々な用途に合わせたAcademic and R&Dモデル。通信用半導体レーザーのDFB-LD生産用に最適なProductionモデル。微細加工性とスループットのバランスがとれた、50kV加速電圧を採用した主力製品です。...

    • 微細加工性とレジスト感度のバランスがとれた、50kV加速電圧を採用した主力製品です。
    研究開発等様々な用途に合わせたAcademic and R&Dモデル、通信用半導体レーザーのDFB-LDの生産用に最適なProductionモデル、2種類のモデルをご用意しております。

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