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前工程から後工程まで、 最先端プロセスを支える搬送システムソリューションを提供
微細化を支える搬送システムソリューションとして、真空プラットフォームやN2 EFEM、ソーターをはじめ、N2パージ300mmFOUP対応ロードポート「SELOP-8」や「Tape Frame FOUP対応ロードポート」など、最先端プロセスを支える様々な搬送機器をご紹介いたします。
後工程での歩留まり向上をサポート パーティクルフリー、繰り返し動作での高耐久性など半導体製造装置に要求されるスペックに対応