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光放射防爆構造（IEC60079-11）に適合した光電子センサやファイバセンサなどの
本質安全防爆機器やFOUP内のウエハを一括検出するウエハマッピングセンサ、
フィルムの巻き径制御やエッジコントロールに最適な超音波センサなどを展示します。
さまざまなFAセンサを使用したセンサソリューションをご提案いたします。
・検出状況を『見える化』
・充実した機能と簡単操作を両立
・2つの変位表示機能で受光量をわかりやすく表示
・6インチ、8インチ、12インチのウエハに対応
・安定検出に優れた透過形を採用
・櫛歯部分（センサユニット）は交換が可能
・検出距離1m、3m、6mの3タイプをラインナップ
・温度センサを前面に内蔵
・LEDの色判別に最適（CS-R85）
・微細な色調や光量を高精度に識別（CST-R85）