(株)シーリングリンクが半導体蒸着炉装備用R軸ユニットの磁気シールをシーリング革新技術に代替することに成功した。 磁気シールは半導体加工装備に使われるが、シーリンク社の技術がこれに代わることができるが、この革新的な技術は寿命が長く、構造が単純で経済的なメリットがあるため、CVD、MOCVD、LPCVD、PCD、ALD、CMP、OLED、LCD装置、Waferハンドリングなどに適用できる。 装置、真空蒸着システム、イオン注入機、Etcher、Asher、EdgeGrinder、Scrubber、RTP、Sputter、Lamp装置、Autoclave、Waferロボットなど
シーリンク社が革新的な技術を活用して溶接金属ベローズの代替に成功した。