『CHRocodile 2ITシリーズ』 は、非接触の厚み、膜厚測定用のセンサです。多種多様な材料に対応可、また、広い測定レンジを有しておるため、加工中と加工前後を1台で測定することが可能です。非接触でSi, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN),LiTaO3(LT),GaN, SiP、Al2O3(サファイア)等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、液晶ギャップセル、太陽電池等の厚み測定が可能です。干渉膜厚最大16層まで対応可能。サブミクロンの高分解能(最小1nm)があります。
■【特長】
■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応
豊富なプローブラインナップで、薄膜(数um)~厚膜(1260um)までカバー。
■In-situでモニタリング可能
70,000Hzの高速サンプリング
■カスタム可能なプローブヘッド
防水ハウジング、換気機能付き水パージ、頑丈なデザイン、測定方式など実績あり
■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)も用意
■多業界で豊富な実績
半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野