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弊社出展情報ページご覧いただき誠にありがとうございます。 ウェハー温度計測用ウェハーロガーをメインに様々な需要に対応します
ウェハー高精度温度分布計測用センサをメインに実機紹介させていただいております。ウェハー上のメモリに記録するロガータイプ（最大１７点計測）は１２インチウェハーに対応し温度計測完了後専用のドックに収納しデータ収集可能です。有線接続タイプは１インチ、6インチ、８インチ、１０インチ、１２インチ、１８インチと幅広いラインナップに対応し最大で7３点温度計測が可能です。