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アキレスのウエハー容器は様々なウエハーを安全、効率的に搬送致します。専用スペーサー、クッションもご用意。
容器の開閉方式にスナップフィット式を採用。容易に開閉を行うことが出来ます。コンパクトデザインにより輸送コストの削減が可能になります。樹脂製フレームもご用意しています。
※SEMI standard/SEMI E57
各種搬送容器に対応したサイズのスペーサーをご用意しています。また、チップトレー用のスペーサもラインナップ。ご指定のサイズでのご提供も可能です。低パーティクル、低イオンコンタミ、シートに施したエンボス加工によりウエハーへの付着を防ぎます。また、バキュームパッドによるピックアップも可能です。
各種搬送容器に対応したサイズのクッションをご用意しています。容器に入れるウエハーの枚数に応じてクッションの必要厚み枚数が異なるため、異なる厚みのクッションをラインナップ。
PEASタイプは独立発泡フォームの表裏面に帯電防止フィルムをラミネートした低発塵のクッション材です。
PESDタイプは特殊発泡技術を採用した低アウトガス、単層の導電性独立発泡クッションです。
いずれのタイプも低パーティクル、低イオンコンタミのクッションになります。