横河ソリューションサービス

• 小間番号4024

研究開発、製造ライン向けソリューションと特殊環境下で適応可能なデバイスなど、幅広いソリューションをご紹介いたします。

【ミニマルファブ】
 当社は、試作をはじめとするデバイス作製に関する検討、導入支援から立ち上げ、運用、アフターサービスにいたるまで、ワンストップでソリューションサービスをご提供しております。
SEMICON Japan2022では、ミニマルファブでの試作事例のご紹介とともに、試作のご相談も承っておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。

【ILC露光工程インラインシステム】
 ILC露光工程インラインシステムは、半導体・電子デバイス製造工場の露光装置と塗布/現像装置を連携制御することにより、露光工程を見える化し業務の省力化、および効率向上を支援するオンラインソフトウェアです。

【装置オンラインシステム】
 装置オンラインシステムは、業界標準仕様であるSEMI Standard（GEM, GEM300,EDA I/F）に対応し、半導体製造装置と上位システム（HOST）のオンライン運用を容易に実現します。
また、装置データ収集プラットフォームの提供にも対応し、装置オンラインと合わせ、装置稼働率向上を支援します。

【防災ソリューション】
 工場内には火災発生が起こりえる危険な箇所が多数存在しております。
例として定期的な巡回点検が難しいユーティリティールームの天井等にある動力ケーブルや排気ダクトが挙げられます。安全対策としては手をかけにくい場所においても、光ファイバ温度センサ（DTSX）などを用いてシステムによる安全監視をご提案致します。

【Piezocon】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　   半導体製造工程でのガス濃度はプロセスに直接影響を与えます。そのガス濃度の安定性の実現、管理の重要性が年々厳しくなってきております。
PIEZOCONは、100ppmオーダーでの濃度管理に加え、濃度変動によって発生するプロセストラブルを解決することができます。

【ペルチェチラー】
 環境問題を意識したチラーをご提案致します。
「フロンを使わないため安全」、「ペルチェ素子を使った温度コントロールによる省エネ」、「可動部、交換部品が少ないため故障が少ない」と時代に合ったコンセプトで設計されております。
置き換えチラーをご検討されていましたら、是非当社ブースにお立ち寄りください。

【シリコンレゾナントセンサ】
 差圧・圧力伝送器EJXシリーズで培ってきたシリコンレゾナントセンサの技術をさらに高性能化した新方式のセンサを開発しました。従来製品に比べ桁外れに分解能が高く、これまで測定できなかった微小変化をも検知可能です。以下のセンサについて技術展示します。
〇水圧センサ 〇気圧センサ 〇加速度センサ・傾斜センサ

 出展製品