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アドテックエンジニアリングは1983年に設立され、露光装置のリーディングカンパニーとして成長してきています。 弊社はフォトマスクを使用するコンタクト式露光装置から最先端のマスクレス直接描画露光装置まで製品ラインナップを拡大し、世界中の顧客に製品を提供し大きな市場シェアを獲得していると同時に、超精密機械加工や工場自動化（FA）機器にも事業展開しています。
今回は品質、性能、安定性を兼ね備えた直接描画露光装置『DE』、『INPREX』シリーズを出展いたします。ご来場をお待ちしております。 ≪展示内容≫ ①露光装置ラインナップご紹介 ②2μm L/Sの最先端直描式露光装置紹介
高精度ステージを採用しオーバーレイ：±1μmを、最新鋭光学系を搭載しL/S：2/2μmを達成することで、 最先端半導体のFOパッケージ、有機パッケージ基板生産で求められる高精度高解像度を実現しました。 また昨年協業をお知らせしました米国デカ テクノロジー(Deca Technologies)社のAdaptive PatterningTMとの統合により、マルチチップFOにも対応が可能となります。