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丸文

中央区,  東京都 
Japan
http://www.marubun.co.jp
  • 小間番号7301

<<出展見どころ(東ホール7 No.7301) >>

当社、丸文のブースではドライエッチングやプラズマCVDといった装置に使用する高周波関連の測定機材(BIRD社他)や、AIを活用した異常検知・予知保全システムを提案致します。

【RFパワー測定ソリューション】
エッチング装置・CVD装置等、プラズマを発生させる工程において使用される
高周波(RF)電源の電力測定装置を出展致します。ロジック・ファウンドリ向けのドライエッチング装置では細かなRFパワーコントロールが求められます。BIRDでは現状の1%精度からさらなるパワーセンサの精度向上(0.5%)を実現するセンサを開発しております。

【非50Ωライン測定ソリューション】
RF電源を使用する装置において、マッチングボックス以降においても、RFの状態監視(電流、電圧、位相角)を可能にした製品を出展致します。

【AIを活用した異常検知・予知保全システム】

CrossCompass社の提供する『MANUFACIA』は、製造業に特化した直観GUIのかんたんAI開発ツールになります。製造ラインの各種機器の故障や不良の原因(接着不良、異物、温度、振動、音、電流電圧、圧力等)に関する各種データをMANUFACIAにインプットすることで、お客様固有の最適なAIモデルを生成することが可能です。

【多機能測定ソリューション】

オシロスコープやファンクションジェネレータといった機能をまとめた多機能測定器Mokuシリーズをご紹介いたします。ご用途や必要スペックに応じて柔軟なご提案が可能。またIpadを使用した革新的なUIも必見です。


 出展製品

  • 超高精度(0.5%)パワーセンサ7037
    ±0.5%の超高精度パワーセンサ7037は、BIRD社が独自のカロリーメータ技術の発展により開発した、従来のRFパワー測定を一新する新世代パワーセンサです。純粋なパワーの測定から、パルス波形のリアルタイムモニタまで、様々な用途に対応致します。...

  • 製品仕様

    7023・25 : シングルパルス 校正周波数において精度1%@1700W(other 2%)
    7027・29 : マルチパルス(最大4段階)精度1%@校正周波数における全パワーレンジ
    7037・39 : マルチパルス(最大4段階)精度0.5%@校正周波数における全パワーレンジ
    ※その他領域 : 1.5%
    ※ご希望の周波数帯、パワーレンジ等詳細につきましてはお気軽にお問い合わせください。

  • 非50Ωライン測定システム BDS2
    BIRD社の提供する非50Ωライン測定ソリューション、BDS2はチャンバ内の実効電力モニタに最適です。RFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの常時監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。...

  • 非50Ωライン測定システムBDS2の特長

    非50Ωラインにおける電流、電圧、位相角モニタ。RF実効電力及びスミスチャートによるインピーダンス解析
    周波数スイープ機能を用いたスぺクトラム解析。高調波・ノイズ成分の解析
    内蔵のトリガ機能により、アークやパルスの立ち上がりを見逃さずキャプチャ可能。プロセス解析・良否判定に最適
    オプションのタイムドメイン機能を使用、最大4レベルのパルス波形をモニタ

  • 製造業に特化した直感GUIかんたんAI開発ツール『MANUFACIA』
    製造ラインの各種機器の故障や不良の原因(接着不良、異物、温度、振動、音、電流電圧、圧力等)に関する各種データをMANUFACIAにインプットすることで、お客様固有の最適なAIモデルを生成することが可能です。...

  • 詳細情報:

    【製造現場の課題】
    ◆ 高度な技術の継承。
    ◆ 工場に埋もれるビッグデータの解析。
    ◆ 高度な異常検知。
    ◆ 属人的な官能検査のデジタル化。

    【AIの製造業への導入の課題】
    ◆ AI、数学の専門的知識が必要。
    ◆ プログラマの確保が必要。
    ◆ 試行錯誤を伴って、良否の判断がつくまで、長期活動となる。
    ◆ AIは道具、改善成果を早く得たいのに、オーバヘッドが大きい。

    【MANUFACIAによるソリューション】
    ◆ 製造業に特化した直感GUIのかんたんAI開発ツール
    ◆ AIの特別な知識や、プログラミング不要
    ◆ 低価格でAI導入のスモールスタートを実現
    ◆ AIモデル開発までは、ノーコード
    ◆ 未学習のAIモデルの開発プロセス不要
    ◆ 実証済みの多数の未学習AIモデルを実装し、評価結果から、合理的にユーザーが選択

  • 多機能測定器 Mokuシリーズ
    Liquid instruments社が提供する全く新しい測定器Mokuシリーズ。実験室にこれが1台あれば、すぐに測定を始めることができます。学生~研究者まで、誰でもお使いいただけるように3種類のタイプ(Moku:Go・Moku:Lab・Moku:Pro)をご用意しております。...

  • 測定する際によく使用されるオシロスコープやファンクションジェネレーターの機能はもちろん、データロガーやロックインアンプなどの機能も搭載しています。無料でダウンロードできるソフトウェアは、シンプルな設計になっており、ノンエキスパートの方でも安心してご使用していただけます。Mokuのソフトウェアは、パソコンだけでなく、タブレットにも対応しており、Wifiを介して無線で測定を行うこともできます。