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エムエス機器

新宿区矢来町,  東京都 
Japan
https://www.technosaurus.co.jp
  • 小間番号5837

半導体製造装置⽤に設計・製造されたSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーをご紹介いたします。
このチラーは、⾼性能なペルチェデバイスと熱交換効率に優れたプレートヒートエクチェンジャーを搭載したコンパクトで省エネ効果が極めて⾼い製品です。
また、このチラーは以下の特⻑を持っております。

✔ チラーの電力消費量を最大90%削減

✔ チラーの冷却水への排熱量を大幅に削減

✔ シールレスポンプ搭載により高価なガルデン/フロリナートの消耗量を大幅に削減

✔ ラックに搭載して設置エリアの省スペース化を実現

✔ 温度追従性が高くウエハー間の温度ばらつきを改善

✔ 駆動部品がポンプとファンのみで故障率が大幅に低減

✔ モジュールパーツの採⽤により修理が容易でダウンタイムも⼤幅短縮
 

是非、この機会にチラーのペルチェ化をお考え下さい。


 出展製品

  • ノンフロン省エネチラー『ThermoRackシリーズ』
    フロンガス不使⽤、消費電⼒を大幅に削減できます! 高価な制御温度のばらつきを改善できます︕...

  • 各社主要装置メーカーに対応

    ノンフロン省エネチラー『ThermoRackシリーズ

    半導体製造⼯程における温度制御チラーとして最適にデザインされています。

    ペルチェモジュールによる熱電原理に基づいた温度制御⽅式で、素早い温度応答性と⾼い温度安定性で冷却加熱を制御します。

    負荷に対して最小限の電力で温度制御が可能なため、従来のチラーに比べ最大93%消費電力を削減できます。

    ±0.05℃の温度安定性でウエハー間、ロット間のバラつきを改善しスループットの向上を実現します。

    コンパクトなリザーバーとシールレスポンプを搭載した完全密閉設計により、貴重なフッ素系循環液の使用量とロスを最小限に抑えることができます。

    • 素早い温度応答性
    • 優れた温度安定性
    • 騒⾳・振動を低減
    • フロンガス不使⽤
    • Fluorinert Galdenに対応
    • 消費電⼒を最⼤93%削減
    • 19インチラックに収まる省スペース

  • ペルチェチラー『ThermoCubeシリーズ』
    フロンガス不使⽤、低振動・低騒⾳・優れた温度安定性、豊富なオプションでカスタマイズ可能!...

  • ペルチェチラー『ThermoCubeシリーズ

    冷却能力200 W、300W、400W、600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃
    の温度精度を維持します。コアとなる電⼦温調モジュールは200,000時間を超える寿命を持ち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。
    豊富なオプションにより様々なアプリケーションに対応します。

    • 半導体製造装置の温度コントロール
    • レーザーの冷却
    • ガス容器の温度コントロール
    • スキャニング電⼦顕微鏡