Loading...

ギガフォトン

小山市,  栃木県 
Japan
http://www.gigaphoton.com
  • 小間番号2748


皆様のご来場をお待ちしております

半導体後工程において、先端パッケージ基板へのトレンチやビアなど様々な微細加工が求められており、エキシマレーザを使用した加工ソリューションをご提案いたします。

本展示会では、当社が半導体リソグラフィ用KrFエキシマレーザから得た技術とノウハウを集結した加工用エキシマレーザ『G300K』と実際の加工事例を紹介いたします。

【加工事例】
・樹脂材料
・ガラス


 出展製品

  • 加工用高出力KrFレーザ「G300K」
    『G300K』は当社が半導体リソグラフィ用KrFエキシマレーザから得た技術とノウハウを集結した加工用エキシマレーザ光源です。 半導体リソグラフィ用KrFエキシマレーザを加工用途向けに高出力な仕様となっております。...

  • 【レーザ基本性能】
    ■短波長(248nm)
    ■高出力(300W)
    ■高周波(最大4kHz)