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JFEテクノリサーチ

千代田区,  Tokyo 
Japan
https://jfe-tec.co.jp/
  • 小間番号2903


お客様の技術課題解決を支援する”ものづくり”のベストパートナーをめざします

 膜厚分布測定装置「FiDiCa®(フィディカ)」

計測対象の全面の膜厚分布を高速で計測します。

圧倒的な情報密度と高速計測で歩留まり改善と品質向上に貢献します。

【概要】

本装置は、シリコンウエハ・ガラス・樹脂フィルム・金属などの表面の薄膜の厚さの2次元的な分布を、
短時間に高精度でパターンとして測定する装置です。

情報電子材料・半導体・機能性フィルムなどの製造では、素材の表面に生成あるいはコーティングされ
る酸化膜や樹脂膜の厚さが製品の性能と密接に関わることから、膜厚管理が非常に重要なファクタと
されています。
膜厚の測定手段としては、これまで光の干渉を利用した分光膜厚計が知られており、膜厚の「点」
としての測定と管理に利用されてきました。これに対し、昨今の成膜ラインでは、膜の均一製造に
対するニーズがとみに増大してきており、「面」としての膜厚測定装置が求められています。

弊社では、線状の領域の光スペクトルが同時に測定できるイメージング分光器を利用した
各種検査装置を製造・販売していますが、その分光カメラを用いて測定対象を一方向に移動させながら
表面の薄膜の分光スペクトルを「面」として一度に測定し、画素毎のスペクトルを解析することにより
膜厚の分布を高解像度かつ高精度で測定する装置を実現したものです。

50nm~800μmの膜厚分布の測定に対応します。
シリコンウエハ・ガラス・樹脂あるいは油膜、水膜など、さまざまな対象への適用が可能です。
これまで「点」で評価せざるを得なかった膜厚が「面」として観察できる特長を活かして、

”製造条件や加工条件の違いによる膜厚分布の微妙な変化の把握”

”膜厚分布と製品の性能の関連性の評価”

”生産現場での製品の品質管理・品質保証”

などへ幅広く活用できます。


 出展製品

  • 膜厚分布測定装置FiDiCa® (標準モデル)
    【装置概要】 ・50nm~800μmまで、幅広い膜厚レンジに対応 ・独自アルゴリズムを用い、対象物の面内を最高400万点の膜厚データにして約90秒で演算 ・全面の膜厚分布を直感的に可視化でき、欠陥や膜厚異常を逃さず検出 【測定対象物】 ・薄膜モデル:SiO2膜、スパッタ膜、レジスト、液膜 ・厚膜モデル:各種ウェーハ、フィルム、ガラス 等 ・極厚膜モデル:各種ウェーハ、バルクウェーハ、フィルム、ガラス等 ...

  • 膜厚分布測定装置FiDiCa® 

    【特長】
    ● 0.05μm~800μmの膜全面の膜厚分布を、分光干渉法により短時間で測定します。

    ● 測定した膜厚分布はその場でカラーマップ、数値情報として電子ファイルに保存。

    ● 12インチ(300mm×300mm)サイズを最高 2,000 × 2,000 画素( 約150μm メッシュ;約2分)にて高解像度測定。

    ● 半導体・電子材料・各種フィルム分野での商品開発・製法 開発・生産管理・品質保証に。

    【展示品、極厚膜モデル概要】
    膜厚分布測地装置FiDiCa®に極厚膜モデル(20μm~800μm)が加わりました。
    極厚膜モデルは、薄膜モデル・厚膜モデルで測定を行っていたものよりも厚みのあるバルクウェーハ等で、
    これまで同様の高速・高精度な測定を実現しております。

  • 膜厚分布測定装置FiDiCa® (高分解能モデル)
    【装置概要】 ・6インチウェーハの全面測定が可能 ・サンプル全面測定と局所的な高分解能(5μm)での測定が可能 ・卓上に設置できるコンパクトな設計...

  • 高分解能モデルは3㎜角視野に対して5μmの分解能で測定を行う膜厚分布測定装置です。

    【測定詳細】

    計測膜厚範囲:100nm~10μm

    測定サイズ:局所測定3mm角、全面測定約150mm(6インチウェーハ)

    測定点数:20万点

    空間分解能:約5μm