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物質・材料研究機構

つくば市千現,  茨城県 
Japan
https://www.nanofab.jp/
  • 小間番号6831


デバイス試作・プロセス開発のお困りごとは是非NIMSにご相談ください!

NIMSの半導体微細加工プロセス共用施設を活用しよう!

【共用施設の特徴】

  • 約60台の微細加工プロセス・評価装置が利用可能
  • いつでもどこからでもオンラインで装置予約可能
  • 多種多様な材料・利用目的に対応した装置を提供
  • 小片から8インチまで様々な開発目的で利用可能

【主な共用装置】

  • 露光:電子ビーム描画装置、レーザー描画装置、マスクレス露光装置、など
  • 成膜:スパッタ装置、真空蒸着装置、CVD装置、ALD装置、など
  • エッチング:CCP-RIE、ICP-RIE、シリコンDRIE、原子層RIE、など
  • 熱処理:赤外線ランプ加熱装置、など
  • 観察:走査電子顕微鏡、走査プローブ顕微鏡、レーザー顕微鏡、など
  • 評価:エリプソメータ、反射分光膜厚計、表面段差計、など
  • 計測:室温プローバー、低温プローバー、など


 出展製品

  • NIMS微細加工プロセス共用施設
    茨城県つくば市にあります...

  • 企業や大学の研究開発にNIMSの装置と技術をご活用ください

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