◎表裏アライメントマークや両面露光パターンの表裏位置ずれ計測が可能な【両面顕微鏡位置ずれ計測システム】
◎ピント合わせを自動化する【高速オートフォーカスユニット】
◎幅広い波長域(400nm～1700nm)まで可視化ができる【ペルチェ冷却SWIRカメラ】
を出展致します。
●両面顕微鏡⇒表裏観察、ずれ量計測等、安価にマルチ計測が可能
●オートフォーカスユニット⇒顕微鏡やFA装置に後付け、個人による誤差をなくし自動化が可能
●SWIRカメラ⇒400nm～1700nmまでの広域での波長領域の観察が可能