アールデックの真空技術とソフト開発力を結集した装置をご紹介させていただきます。ぜひ弊社ブースにお立ち寄りください。
アールデックは創業以来”つくば”の地で培った超高真空技術をベースに「ハード設計・開発」と「PLC/Labview によるソフト開発」を自社内で 行い、 開発・製造・販売の一貫体制でお客様のご要求に沿った装置をご提供しております。弊社ブースでは半導体研究開発/少量生産/品質検査向けのレシピ制御型自動蒸着装置、高感度昇温脱離ガス分析装置、小型脱ガス装置を展示しています。
また、米国k-Space社のウェハ反り/応力モニタ、室温から高温まで基板温度を測定できる正確で再現性の高いリアルタイム基板表面温度モニターなどを展示しています。
お客様の研究開発、品質向上、歩留改善に貢献できるソリューションをご提案させていただきます。弊社ブースへのご来場を心よりお待ち申し上げております。