長年培ってきた真空技術と各種還元技術を組合せ、お客さまのニーズに沿った装置をご提案します。
真空技術をコアに、半導体や電子部品の製造に貢献する真空装置を展示します。はんだや金属をフラックス無しで還元処理・はんだ付けを高品質に行えるフラックスレスリフロー装置ウェーハ同士の高精度アライメント、WLPなどを実現するウェーハボンダー、常温接合装置、真空アニール、グローブボックス、真空封止装置など、幅広いニーズにお応えします。