スイスVAT社は世界最大の真空バルブメーカーです。国内外大手半導体メーカーの多数の導入実績があります！
今回は最新のゲートバルブ、コントロールバルブ、モーションコンポーネント、トランスファーチャンバーなど、最新のVAT製品が搭載されているマルチバルブモジュールソリューションによって、コンポーネントの動きを3Dイメージでご覧頂きながら、ご要求にあったご提案をさせていただきます。
その他、実機展示は下記のバルブをご用意する予定です。ぜひご立ち寄りいただき実際のバルブの動きをご覧ください。
- 振子式コントロールバルブ
- バタフライ式コントロールバルブ
- ウエハーリフトシステム
- 高真空ゲートバルブ
- 角型ゲートバルブ
- サブファブ用クイックシャットオフバルブ
- VATANIUM（硬質アルマイト）
各バルブの性能をご確認いただきながら、半導体製造の課題解決に向けたご相談ブースをご用意しております。是非この機会にご来場の上、弊社ブースにお立ち寄りください。