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ＵＶ光源専門メーカとして高付加価値なＵＶ光をご提供いたします。
水銀を使用しない、高付加価値なUV光源を提供しております。
エキシマUV照射装置…マスクやウエハの有機物、レジスト残渣を172nmの光で取り除きます。
UV-LED照射装置…265nm～405nmまでの波長を実装可能。照射エリアもカスタマイズできます。
UVレーザー…266nm・355nmのUVレーザーを、光学系とセットで提供します。
弊社独自技術により歩留まり低減、タクトタイム短縮、品質向上に貢献いたします。