「KSMは共に世界最高を志す」
世界トップシェアーの溶接ベローズをご提供します
ケーエスエムジャパン(株)
弊社は40年以上超高真空及び半導体製造装置用の重要真空機密部品やヒーターをカスタマイズ設計、製造しており、海外の主要半導体装置メーカの戦略的OEMサプライヤーとして協力しております。
- 溶接金属ベローズ
- Pedestal Heaters (SST, Aluminum, Ceramic)
- SiC Fine Ceramics (Silicon Carbide)
- Mechanical Seals/ロータリージョイント
海外の主要半導体OEM装置メーカの戦略的なサプライヤとして、半導体市場やFPD、太陽電池市場の活況により急増する需要を独自に管理する自社製造拠点のクリールームの製造キャパを生かして柔軟に対応しております。溶接部品及び金属加工品の製造現場として世界最大のクリールーム規模を保有しており、自社内の一貫製造や自動化洗浄システム、金属検証研究設備を備え付けております。
溶接ベローズを含む弊社の上位アセンブリー製品は薄膜から最終検査パッケージに至るウエハ加工工程の各段階に必要な精密部品であり、高レベルの真空環境や高温使用にも採用されています。
PROCESS: Crystal Growing | Ion Implant | Etch | CVD | MBE | CMP | Lithography | Inspection | Display + …
APPLICATION: Flexible Coupling | Crucible Lifts | Feedthrough | Flex-Connector | Pin Lift | Cassette Elevator | Door Valve Loadlock | Vibration Damper +…