ウエハの形状測定でお困りのお客様へベストフィットするご提案をいたします。
是非ブースまで足をお運びください。
● ウエハ向け形状測定システム【 Dyvoce（ダイボス） 】
・ 小口径から大口径まで測定可能
・ SEMI規格対応
・ 自重たわみ補正による真の形状評価
・ 枚葉機/自動機
・ 応力解析：形状測定のデータから成膜ウエハ・ベアウエハの応力を解析
・ TAIKOウエハ形状測定（自動機のみ）
● ウエハアライメント用ステージユニット【 RST Aligner 】
・ テーブルサイズ自在
・ 大口径透過穴対応
・ XYZθ軸
・ 100nmピッチの往復ステップでもフィードバック不要