前工程から後工程まで、 最先端プロセスを支える搬送システムソリューション
今回のSEMICON JAPANでは「EFEM」を中心とした実機展示を行います。
また、「300/200mm自動切換え機能搭載ロードポート SELOP-8.1」から「Tape Frame FOUP対応ロードポート」の実機展示、国内初出展の「SMIFロードポート」のデモンストレーションなど、幅広いラインナップをご覧いただけます。
さらに高効率な環境コントロールを可能にした「N2 EFEM」をCG映像でご紹介いたします。
展示製品
・EFEM（3ポート）
・SMIF ロードポート New
・Tape Frame FOUP対応 ロードポート
・300/200mm自動切換え機能搭載ロードポート SELOP-8.1
・300mm FOUP対応 ロードポート
・ダイレクトドライブモータ
映像紹介
・N2 EFEM
・ソーター
・Tape Frame EFEM
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