当社の展示ブースでは、前工程の重要なプロセスとなる露光装置のパネル・動画や当社装置で作成したサンプルを展示しております。
株式会社大日本科研では、半導体・電子部品用露光装置の製造をメインに、設計・製作からメンテナンスまで一貫したサービスを行っております。今回はφ200/300mm対応のマスクアライナーや、卓上サイズのデスクトップアライナー、フォトマスクを必要としないマスクレス露光装置をメインとして、各種露光装置をパネルや動画にて展示・ご紹介いたします。また現在、一括の投影露光装置も開発しており、今回のセミコンジャパンにてパネル出展いたします。他には研究、試作に最適なデスクトップアライナーに関しては実機展示もいたしますので、実際に操作して触って頂くことも可能です。露光装置をお探しの方、また露光工程でお困りの方がおられましたら、是非当社ブースにお立ち寄りください。皆様のご来場を心よりお待ちしております。