ナガセテクノエンジニアリング ウエハハンドリング Lab
高性能な機器で信頼性と精度に優れたソリューションを提供します
ナガセテクノエンジニアリングは最先端の技術を活かしお客様の様々なニーズにお応えします。
半導体／MEMS／LED／フラットパネル／ディスク／バイオ／フォトリソグラフィー／太陽電池など、各業界向に、ご用途とプロセスに合う基板搬送用ハンドリングツール・装置及び各種カセットを出展いたします。薄ウエハにも対応可能な卓上型のウエハ一括移載装置や非接触型搬送ツールのデモンストレーションも行います。
接着材なしで、あらゆる基盤を瞬時に接着・剥離するモバイル静電キャリアを展示デモいたします。
オープンクリーンシステムKOACH：オープンな環境でISOクラス1の清浄空間を実現します。卓上タイプを展示デモいたします。清浄度をご体感下さい。
今年は3製品を新しくリリースします。
プロセス改善用マルチセンサー：振動、温度、湿度、レベリングを測定できるウエハ型の測定器を展示いたします。
ドライポンプ省電力化モジュール：ドライポンプの排気口に取り付け消費電力を削減する装置です。
卓上型超音波スプレーコーター：超音波噴霧化ノズル技術に基づいた均一性と制御性の高い超音波スプレーコーターを展示いたします。