プラズマ・サーモ・ジャパン

• 小間番号4032

世界中の人々の生活を向上させる半導体デバイス。私たちはハイパフォーマンスのプラズマ技術によってそれを支えております。

1974年に設立されたPlasma-Therm社は、高度なプラズマ処理装置の世界的なメーカーであり、ワイヤレス通信、パワーデバイス、MEMS、フォトニクス、先端パッケージング、メモリ・ストレージ、研究開発をはじめとする半導体市場にエッチング、成膜技術、熱処理、プラズマダイシング技術を提供しています。Plasma-Therm社の製品は世界中で採用され、高付加価値、信頼性、ワールドワイドなサポートで高い評価を得ています。また、北米、欧州、アジア太平洋地域に販売・サービス拠点を置き、グローバルかつ多様な顧客ニーズに対応しています。

さて、弊社の製品群は、２つのカテゴリーに分けられます。

１つは、大量量産向けに適した、クラスターツール。https://www.plasmatherm.com/

他方は、研究開発および少量量産向けに適した、ノン・クラスターツール。https://corial.plasmatherm.com/en

今回は、日本市場における初めての出展であり、大量量産機から少量量産機まで、ほぼ全ての装置をセミナー形式でご紹介する予定です。セミナーは弊社のブース会場で開催いたします。また、セミナーのスケジュールは、準備が整い次第公開いたします。

以下が各個別製品の概要とリンクとなります。是非、詳細情報をご確認頂き、ご注目製品のセミナー開催時間には、弊社ブースまでお越しください。

◆　クラスターツールラインアップ

• VERSALINE® ： ICP, DSE, RIE, PECVD, HDPCVD
• LAPECVD™ : ラージエリアPECVD装置
• Endeavor : PVD装置
• Eclipse : PVD装置
• TFE: バッチ式PVD装置
• KOBUS FAST: 高速ALDライク成膜装置
• Tegal : RIE装置
• QuaZar™ : イオンビーム・エッチング・成膜装置
• Heatpulse: ランプ・アニーリング装置
• Mask Etcher: フォトマスク・エッチング装置
• ODYSSEY HDRF™ : プラズマフォトレジスト（有機ポリマー）除去、ボッシュプロセス後のスムーズイング
• Singulator™ : テープ式プラズマ・ダイシング装置

◆　ノン・クラスターツールラインアップ

• Vision™ : RIE, PECVD (エントリーモデル)
• Shuttleline: RIE, ICP, PECVD, ICP-CVD　（スタンダードモデル）
• Takachi: RIE, ICP, PECVD, ICP-CVD　（ハイエンドモデル）
• Kayen HDRF™: プラズマフォトレジスト（有機ポリマー）除去、ボッシュプロセス後のスムーズィング
• PlasmaPOD: 卓上型エッチング・成膜装置