プレシテックはドイツの光学式センサメーカーです。厚み、距離、形状測定に使用でき、特に、高サンプリングな用途に最適です。
今回は、下記製品二つが特に見どころとなります。その他、形状測定用のラインセンサ、安価な距離センサ、不透明体を片面から測定できる非接触センサを展示します。
■新製品
① FSS310
分光干渉式で高精度なウエハの厚み測定ができます。視野角が310mmあるため、12'ウエハの全面厚み測定が可能。ガルバノミラーによるスキャンのため、ステージスキャン無しで、振動による影響がありません。
ウエハ厚みは最大1nmの繰り返し精度で測定が可能で、スキャンスピードは最大70kHzで、12'ウエハの全面厚み測定時間の大幅な短縮を可能にします。
2023年のSPIE（サンフランシスコ）にてAwardも受賞したセンサになります。
② CHRocodile 2IT / 2IT DW
分光干渉式で、ウエハ厚みの高精度な測定が可能です。DWシリーズは、異なる波長光源を使用し、ドープウエハにも対応しています。
繰返し精度1nm,最大70kHzでの測定ができます。
■その他の展示品
③ CLS2.0
色収差共焦点方式の光学式ラインセンサです。1200個のセンサ素子が並んでおり、ステージスキャンと組み合わせれば、３次元形状のエリア測定ができます。
この原理では、角度許容度も高く、ワイヤボンディングのワイヤ、ボンダ部、ウエハエッジ、マイクロバンプなどの形状測定にも最適です。
最も角度許容度の高いプローブでは、53度となります。
④ CHRocodile C / CHRocodile Mini
色収差共焦点方式の光学式シングルポイントセンサです。1式100万円程度と安価なバージョンではありますが、高精度な距離測定ができます。
標準4kHz, 最大10kHzでの測定が可能で、高精度な高さ測定、アライメントなどに活用できます。
CHRocodile Cは、プローブ・コントローラが一体となっているもので、Miniはプローブと・コントローラが別体となっているものです。
⑤ Enovasense
レーザーフォトサーマル技術（光と熱）で、塗装膜、金属膜など不透明体の厚みを、非接触で片面から高精度に測定ができます。
本センサのメリットは、
・非接触のため破壊試験不要
・最小10nm~1mmまでの測定範囲
・1~3%の高精度測定
・母材に依らず様々な材料の組み合わせで測定可能