装置オンライン、装置制御システムにご興味をお持ちの方は是非、みずほリサーチ＆テクノロジーズ（6914）にお立ち寄り下さい
みずほリサーチ＆テクノロジーズは、Smart ManufacturingやIndustrie4.0をにらみ、半導体・液晶分野における20年以上の工場自動化、装置自動化の業務経験にもとづく半導体装置制御ソリューション、装置通信ソリューションなど、半導体装置の制御を対象としたITソリューションを展示いたします。
キーワードは「Control(制御)」、「Collect(収集)」、「Integration(統合)」です。
PTO®は、半導体製造装置に組込むことで、装置内のデバイスを「Control(制御)」し、ジョブ管理や材料移送等を実現します。
EIB®は、装置の詳細データを「Collect(収集)」し、装置と工場システムの橋渡し役として、製造データを工場システムにリアルタイムに送信します。
PFSC™は、ステーションコントローラとして、半導体製造装置群を「Integration(統合)」し、工場システム（MESやRMSなど）から製造指示を行うとともに、装置からの製造データを工場システムにフィードバックすることで製品品質の向上に寄与することができます。
半導体製造装置の開発期間削減を目指す装置サプライヤー様、また品質向上のためのファクトリーオートメーションソリューションをお探しのICメーカ様にぜひご覧いただきたいソリューションです。
- PTO®：装置機器の自動制御とオンライン機能の融合装置構成機器の自動制御と、オンライン機能のプラグインで開発期間を短縮し装置の安定稼働に寄与するソフトウェアです。
- EIB®：HSMS、SECS、GEM、GEM300、InterfaceA対応する装置組込型の通信接続・装置オンラインソフトウェアです。
- PFSC™：装置の統合管理と工場システムと装置間のコミュニケーションを実現するステーションコントローラです。
従来のConX300™、GWGEM®、SDR™も展示いたします。
*PTO®、EIB®、PFSC™、ConX300™、GWGEM®およびSDR™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。