レーザーテックは、光を用いた独自の最先端技術で検査・計測ソリューションを開発、提供しています。
当社ブースでは、新製品Ｈigh NA対応アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A300」およびEUVリソグラフィ全般の幅広いラインナップ、主力のマスク、マスクブランクス欠陥検査装置、ウェハ関連検査装置をご紹介いたします。
またハイブリッドレーザー顕微卿の実機デモを行いＲ＆Ｄ（標準機）、量産試作（特殊ステージ仕様）から量産ライン（プロセス機）まで、測定ニーズに合わせたカスタムのご提案うをいたします。あらゆる検査・計測に関するご相談も承っておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。