カメラを搭載した大気搬送ロボット、新機構を採用した真空ロボット等を展示しております。是非ローツェブースにお越しください。
ローツェ株式会社は自動化・モーションコントロールのベース部分となる、モータドライバ・コントローラから、ロボット、ロードポート（LP）、アライナ等の自動化単体モジュール、それらを使用したEFEM、ウエハソータ、真空プラットフォーム等の装置に加え、工場HOSTとの通信含めた全てのソフトウェアまで、グループ企業内で全て開発・製造している垂直統合メーカです。
これまで創業以来30余年の間半導体製造装置メーカ様向けに提供し続けてきたソリューションだけでなく、近年はエンドユーザ様向けのウエハソータ、ベアウェハストッカ、パージ（N2,XCDA）対応ウェハストッカ、ALP（FOUP移載補助装置）等のFAB向けの自動化ソリューションも提供させて頂き、ウルトラクリーン性能及び高い製品信頼性により世界各国のエンドユーザ様からサプライヤー賞頂き、高い評価受けております。
DDM（真空ダイレクトドライブモータ）を駆動部に採用し、高い搬送精度と、高い真空隔壁性能を実現した真空ロボットを展示します。新機構のクロスレッグ構造を採用したフルリンクアームにより、チャンバサイズを変更することなく、従来よりも長距離の搬送を実現しています。併せて、ローツェ独自開発の真空ロボットおよび真空チャンバ用表面処理技術『RM処理』をパネル展示します。低アウトガス、低パーティクル、真空ポンピング時間の短縮を達成した処理技術となります。
ハンド部に独自開発した小型カメラを搭載した搬送ロボットを展示します。搬送位置に配置された2次元コードを認識することによるオートティーチング機能を実演します。また、搬送プロセスをリアルタイムでモニタリングし映像を記録することにより、異常発生時の原因分析を効率的に行うことができます。
予防保全の観点から、ローツェ独自の通信プロトコルを使用したリアルタイムデータ解析のコンセプトをパネル展示、および独自開発のAIによる異常検知機能を実装した搬送ロボットのデモ展示を行います。