鼎佳將在SEMICON TAIWAN 2022展出半導體製程尾氣的氫氣純化回收方案(HPR-Hydrogen Purification & Recycling)、以及低溫氫氣氧化方案(LTHO-Low Temp. Hydrogen Oxidation)。鼎佳的氫氣純化回收設備是全球唯一取得SEMI S2認證的氫氣回收設備,可解決目前業界因製程尾氫無法回收而需排放拋棄的問題,兼顧環保、節能、減碳、與經濟效益;另外、針對無法回收而將製程廢氫燃燒導致工安顧慮以及NOx的環保問題,鼎佳新開發的低溫氫氣氧化除氫機設備可提供無火焰安全運作方式將廢氫轉化為水,讓殘餘氫氣濃度低於4000ppm、符合安全標準。
我們誠摯邀請您並期待與您在展會中見面。
SEMICON TAIWAN 2022展會資訊
攤位號: I2806 (南港展覽館一館循環經濟專區)
2022.9.14 (三)-2022.9.15 (四) 10:00 -17:00
2022.9.16 (五) 10:00-16:00
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林錦星 協理
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