EQ Tech Plus Co., Ltd

Anseong-si,,  Gyeonggi-do 
Korea (South)
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  • Booth: T2160


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 Press Releases

  • 대기업도 놀랐다… 경기도스타트업 기술력 과시

    경기 투자유치IR 데모데이
    이큐테크플러스 대상 영예·한농환경 최우수상

    2018년 03월 28일(수)

    채태병 ctb@joongboo.com

    작게 크게

    http://ph.joongboo.com/news/photo/201803/1239259_1104482_2939.jpg

    ▲ 28일 판교 스타트업캠퍼스에서 열린 '2018 경기 투자유치 IR 데모데이'에 참여한 관계자들이 기념촬영 하고 있다. 사진=경기지방중소벤처기업청

    전력반도체 신사업 진출에 날개 달다


 Products

  • Film Wafer
    < Product > Si-Nitride Amorphous Poly P-TEOS P-SiON, P-SiN, P-SiO2 Oxidation...

  • Film Deposition Wafer 

    No.

    Film

    Thickness

    Spec.(%)

    *

    Notes

    1

    Nitride

    Thin

    50 ~ 500 Å

    ≤ 3.0

    D

    Thick

    500 ~ 5,000 Å

    ≤ 3.0

    2

    Si

    Amorphous

    500 ~ 10,000 Å

    ≤ 3.0

    D

    on Oxide

    Poly

    500 ~ 3,000 Å

    ≤ 3.0

    3

    P-TEOS

    500 ~ 40,000 Å

    ≤ 5.0

    S

    4

    P-SiON, P-SiN, P-SiO2

    300 ~ 3,000 Å

    ≤ 3.0

    S

    5

    Oxidation

    30 ~ 20,000 Å

    ≤ 3.0

    D

    6

    Tungsten (W)

    100 ~ 1,000 Å

    ≤ 5.0

    S

    on TiN/Oxide

    7

    LPCVD Oxide

    50 ~ 500 Å

    ≤ 5.0

    S

    8

    ACL

    1,000 ~ 20,000 Å

    ≤ 5.0

    S

    9

    PR (I-Line/KrF/ArF)

    1 ~ 3 mm

    ≤ 3.0

    S

    10

    SOH

    ~ 2,700 Å

    ≤ 3.0

    S

    H-SOH

    11

    P.I. (Polyimide)

    6 ~ 10 mm

    ≤ 5.0

    S

    12

    PBO (Poly Benzoxazole)

    6 ~ 9 mm

    ≤ 5.0

    S

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