荏原精密机械
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质量保证 | 贴心服务 | 技术成熟

上海荏原精密机械有限公司隶属于株式会社日本荏原制作所下设精密电子事业群,是一家以半导体制造设备为主的提供营销、维修以及售后服务的外商独资企业。


公司成立于1999年4月,注册资本4.95亿日元,位于上海浦东新区,业务范围主要涵盖真空泵、化学机械研磨机、电镀机、尾气处理装置等产品的销售、售后服务、技术支持等。

  • 1999

    公司成立于

  • 116

    全球子公司

  • 50亿元

    注册资本

产品中心
PRODUCT
一家以半导体制造设备为主的提供营销、维修以及售后服务的外商独资企业
  • 01 /
    EV-X干式真空泵
    由于工艺负荷和复杂性的增加,安装在Subfab中的组件系统的数量也在增加。对体积更小、更能承担高负荷的真空泵的需求与日俱增。 荏原专门应对此部分市场需求,推出了干式真空泵EV-X型。满足顾客对小型化、高负荷真空泵的要求。

    覆盖多种工艺流程

    小型化设计、交货期短

    耐用性高、拥有总成本低廉

    广泛的荏原技术支援网络

    EV-X
  • 02 /
    EV-M干式真空泵
    EV-M机型是专为重制程应用而设计的罗茨泵,在半导体、液晶和光伏电池等有大量副产物的制程中有大量实绩。EV-M掌握了抵抗重制程应用和能源效率之间的平衡,以充分满足客户的需要,同时减少停机时间和降低运行成本。
    智能转速控制功能,保证足够的气体吞吐量
    占地面积小
    能耗低,能效高
    镍合金,镍涂层等耐腐蚀型材料选配
    EV-M
  • 03 /
    EST干式真空泵
    EST机型基于荏原创新性的螺杆泵技术制造,擅长应对重制程反应产生的化学副产物。EST最适合粉状、腐蚀性和可能需求一定高温的应用。
    镍合金,镍涂层等耐腐蚀型材料选配
    智能转速控制功能,保证足够的气体吞吐量
    先进的预警和报警数据存储能力
    手动报警设置功能(可编程的LCD控制器)
    EST
  • 01 /
    F-REX300X化学机械研磨设备
    Model F-REX系列 本装置是用于无尘室中对半导体晶元表面进行化学机械研磨的CMP设备。设备具备经市场证明了的高度可靠以及优越的过程处理性能,并能对各个客户的特殊规格要求进行灵活应对。
    干进干出
    有支持大批量生产的多样辅助设备
    优越的工艺性能
    灵活对应各用户的特殊规格要求
    F-REX300X
  • 02 /
    F-REX200M2化学机械研磨设备
    Model F-REX系列 本装置是用于无尘室中对半导体晶元表面进行化学机械研磨的CMP设备。设备具备经市场证明了的高度可靠以及优越的过程处理性能,并能对各个客户的特殊规格要求进行灵活应对。
    干进干出
    有支持大批量生产的多样辅助设备
    优越的工艺性能
    灵活对应各用户的特殊规格要求
    F-REX200M2
  • 01 /
    G6系列尾气处理设备
    G6机型能够吸收大多数一般流程和清洁气体,包括用于半导体、液晶面板、太阳能电池和led制造业务的全氟化碳。G6机型是在G5机型基础上发展而来的,非常适合大流量高热产氢气体的使用。
    进气量是G5机型的3倍
    去除粉状副产物,运行时间长
    低运行成本,能够根据多种气体按需调整燃料流量
    设计上方便维护,适用于高气体负载比如大容量粉状副产物捕集
    G6系列
  • 02 /
    G5系列尾气处理设备
    EG5机型能适用于大部分制程的尾气清理,包含半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造过程中的废气包括全氟化合物。该集成系统可自动高效去除粉状副产物,从而实现维护和运行成本的降低。
    高效处理各种气体,包括温室气体,全氟化合物等
    可根据气体种类按需调节燃料流量,从而降低运行成本
    自动清洗、去除粉状副产物,增长运行时间
    G5系列
  • 01 /
    OZW臭氧发生装置
    OZW机型通过荏原独特的清洁型高浓度臭氧水发生器和无尘泵,可以最大限度地减少脉动和颗粒,产生高浓度的纯净水。
    全新ozw溶解方式
    优良的浓度稳定性
    可选择的供水方式
    OZW