采用独立结构,实现FOUP门开关更加流畅[已获美国专利]
气动/电动混合驱动结构抑制开关门产生的振动,大幅降低颗粒的影响。
拥有最新的高气密性FOUP。
特 长
采用独立可动喷嘴,可实现稳定氮气吹净
■控制喷嘴升降时机
・避免和运动销载入位置的干扰
・亦可与氮气吹净不匹配的FOUP混用
▪调节喷嘴结合强度功能
▪可更换喷嘴头
▪喷嘴升降位置确认(传感器)
1,载体基座上的FOUP氮气吹净
FOUP适用实绩:ENTEGRIS公司A-300及Spectra(适用4吹净口型号) ※
2,纯净氮气供给
(1)过滤器紧接吹净口,防止颗粒侵入FOUP
(2)向位于FOUP注入口的规格金属孔眼压焊喷嘴
3,可通过流量计监测氮气气体的流量
4,可通过MFC控制氮气气体的流量
5,可通过现场改装将标准版SELOP-8氮气吹净工艺升级