SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD.

Minato-ku,  Tokyo 
Japan
http://www.sinfo-t.jp/eng
  • Booth: 2616


Total Transport System Solution

 In SEMICON CHINA, our theme will be based on “Supporting cutting edge environment and legacy environment” and will present our audience with Vacuum Platform, N2 EFEM, and Vacuum Linear Transport Unit. With the emergence of IoT, Semiconductor equipment is advancing rapidly and Sinfonia has variety of legacy environment compatible lineups of transport equipment such as “SELOP-7” with 300/200mm Wafer Auto Switching Loadport, “SELOP-8” compatible with an upgradable N2 Purge. Our exhibition is a paramount representation of our Total Support for various processes including 150mm, 200mm, 300mm.


 Products

  • 300mm FOUP载入口(Smart SELOP-8系列)
    支持进一步微细化的次时代机型!...

  • 采用独立结构,实现FOUP门开关更加流畅[已获美国专利]

    气动/电动混合驱动结构抑制开关门产生的振动,大幅降低颗粒的影响。

    拥有最新的高气密性FOUP。

      特 长                               

    采用独立可动喷嘴,可实现稳定氮气吹净

    控制喷嘴升降时机

     ・避免和运动销载入位置的干扰

     ・亦可与氮气吹净不匹配的FOUP混用

    调节喷嘴结合强度功能

    可更换喷嘴头

    喷嘴升降位置确认(传感器)

    1,载体基座上的FOUP氮气吹净

      FOUP适用实绩:ENTEGRIS公司A-300及Spectra(适用4吹净口型号) ※

    2,​纯净氮气供给

      (1)过滤器紧接吹净口,防止颗粒侵入FOUP

      (2)向位于FOUP注入口的规格金属孔眼压焊喷嘴

    3,可通过流量计监测氮气气体的流量

    4,可通过MFC控制氮气气体的流量

    5,可通过现场改装将标准版SELOP-8氮气吹净工艺升级

  • 300/200mm自动切换功能载入口(Smart SELOP-7 新系列)
    最适合300mm与200mm晶圆混合生产线! 300mm晶圆对应LP仅需装载开放式晶圆盒适配器便可适用于200mm晶圆对应LP!...

  • ■采用300/200mm两种晶圆尺寸映射功能
    ■采用晶圆防脱出结构
    ■采用晶圆搬送过程中保持适配器门关闭的安全锁功能

    【具备自动识别功能】

    300mm晶圆FOUP或200mm开放式晶圆盒自动识别功能

    载入口参数自动变更及装置识别通知功能

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