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主要产品有:LPCVD,PECVD,常压、低压扩散炉,氧化炉,退火炉,特气柜、尾气处理等半导体气体处理配套,石墨烯,立式真空炉,氢气炉,热处理炉等真空热工设备等等。

  • 半导体工艺设备

    半导体工艺设备

    模块化、自动化可扩展、高可靠

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  • 特气&废气处理

    特气&废气处理

    处理半导体工艺过程中产生的度气,如氯气硫酸秀、氟化物、氯化物、氯气等

    02
  • 真空/气氛炉系列

    真空/气氛炉系列

    适用于高性能钦铁硼等磁性材料的烧结、退火扩散渗等工艺

    03
  • 工厂自动化及升级改造

    工厂自动化及升级改造

    设备及工厂生产自动化工业4.0

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青岛华旗科技有限公司

团结 拼搏 创新 求索

青岛华旗科技有限公司为专业的半导体工艺设备及先进材料专用设备研发、制造厂家。我公司制造的半导体工艺设备覆盖一、二、三、四代半导体材料-硅、砷化镓、氮化镓等等,高性能磁性材料真空设备(钐钴、钕铁硼等)同时承担了国家部分863项目(如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)。

  • 1993
    成立时间
    J
  • 8000
    净化厂房
    C
  • 30
    研发经验
    M
  • 60+
    实用专利
    E
  • 1000+
    用户数量
    E

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