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行业方案
20余年真空技术与行业应用经验，助力半导体、太阳能光伏、分析仪等高端制造领域发展
半导体制造
SEMICONDUCTOR
MANUFACTURING
半导体制造主要指在晶圆上制作逻辑电路的过程，涉及到工艺制程设备有扩散炉、PVD/CVD设备、光刻机、涂胶机、刻蚀机、离子注入设备、CMP设备等。真空系统作为这些工艺制程设备的关键子系统
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新能源领域中，光伏、硅片、电池、封装线和成品模块等制造过程中需要真空环境，利用真空防止杂质污染，防止和其他气体的反应，在一些敏感工件搬运中，需要在真空中实现清洁高效的搬运，避免留下痕迹和造成污染。
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新能源行业
PHOTOVOLTAIC
INDUSTRY
真空系统在分析仪器中应用广泛，帮助建立高度精确的环境条件，使得各种不同的应用场景得到实现，在科研领域，很多分析仪器要维持正常运作，就需要用到真空技术。
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分析仪器
ANALYTICAL
INSTRUMENT
产品中心
持续新产品研发与产业化投入，塑造核心竞争力，CBVAC中科九微真空产品已经成为行业标杆
MTP磁悬浮分子泵
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螺杆干式真空泵
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真空薄膜规
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半导体挡板阀
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半导体真空腔体
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视频中心
岁月如新，砥砺前行
20余年专注真空技术创新与发展
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适用于半导体/光伏/表面处理等领域
渐变式螺杆干泵机组
自主知识产权，欧盟IE4节能等级
脂润滑一体分子泵
一体控制、精密可靠、转速可调
新闻中心
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聚焦半导体，共话新未来 | SEMICON China 2024 中科九微惊艳亮相
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