Zhejiang Cheer Technology Co., Ltd.

工作原理：

UFC系列超声流量控制器由UF超声流量传感器和超洁净控制阀组成。UF超声流量传感器采用时差式超声测量原理来检测测量管内的液体流量，其测量管与液体接触部分全部由超纯PFA材料制成，且超声探头安置在测量管外侧，从而确保了在测量管内介质不被污染的情况下，实现对介质的快速和精确测量，并将流量信息通过模拟信号输出给超洁净电控阀。超洁净电控阀根据接收到的流量信息，调节阀口开度，从而使流量控制器的出口流量达到目标值，实现流量控制功能。

应用场合：

化学机械研磨液（Slurry）流量控制；生物、制药、食品等其它需超洁净介质输送的场合；半导体、液晶面板、光伏、LED等制程所需湿法设备与电子化学品系统。

产品亮点：

与被测介质接触部分全部由超纯氟材料制成，金属离子与颗粒等污染物析出量极低；

采用非接触式超声测量技术，测量精度高、量程宽、可靠性好；

利用AGC技术，增强了气泡、颗粒等工况下的测量可靠性毫秒级流量传感响应速度，1.5s目标流量控制速度。

工作原理：

UF系列液体超声流量传感器由超纯PFA测量管和变送器两部分组成。测量管两端分别安装有压电振子A（位于上游侧）和压电振子B（位于下游侧），在变送器控制下依次完成超声波信号的发射/接收，从而获得超声波信号的顺流传播时间和逆流传播时间，进而通过顺逆流传播时间差计算出管道内的介质流速。

应用场合：

半导体、液晶面板、光伏、LED等制程所需湿法设备与电子化学品系统；生物、制药、食品等其它需超洁净介质输送的场合；化学机械研磨液（Slurry）流量测量。

产品亮点：

测量管采用高纯PFA材质，耐化学腐蚀性极佳，金属离子、颗粒等污染物析出量极低；

采用非接触式超声测量技术，测量精度高、量程宽、响应快、压损小、可靠性好；

利用AGC技术，增强了气泡、颗粒等工况下的测量可靠性。

工作原理：

BP系列波纹管泵（风囊泵）由两个气腔和两个液腔构成，通过供给压缩空气使风囊在气腔内周期性地发生轴向变形，以周期性地改变工作腔的容积，并在吸、排液阀的配合下，将被送液体吸入或排出风囊，从而实现液体的输送。

应用场合：

半导体湿法加工

芯片封装

太阳能电池生产

平板显示器制造

电镀工艺

高纯化学品输送

产品亮点：

无电机、无发热；

泵体与底座分体设计，拆卸方便，易于安装和维护；

风囊采用超纯全氟树脂材质制造，耐化学腐蚀特性极佳，金属离子、颗粒析出量极低。

工作原理：

LP系列磁悬浮泵由磁悬浮电机、超洁净泵头、控制器三部分组成。磁悬浮电机驱动PFA叶轮进行非接触式旋转以实现泵液，无轴承等动摩擦部件，较传统离心泵，颗粒物脱落量大大降低，并避免了泄漏、颗粒卡滞等风险。超洁净泵头是输送液体介质的执行部件，全部采用超纯全氟树脂材质制造，耐化学腐蚀特性极佳，金属离子析出量极低。控制器用于实现整泵的驱动与控制，并提供多种通讯接口，可实现转速及流量、压力的灵活调控，并内置泵液状态自动检测功能，使整泵具备极高智能性。

应用场合：

半导体、液晶面板、光伏、LED等制程所需湿法设备与电子化学品系统；生物、制药、食品等其它需超洁净介质泵送的场合；电镀设备等。

产品亮点：

流线型流道设计，出口脉动小；

内置泵液状态自动检测功能，使整泵具备极高智能性；

无轴承和动态密封件，无泄漏风险、维护成本低、可靠性高；

转速灵活可调，可与各类传感器联合工作，实现流量，压力泵控；

泵头采用超纯全氟树脂材质制造，耐化学腐蚀特性极佳，金属离子、颗粒析出量极低。