三英精控将为您展示在半导体行业中的应用案例。我们将在T0馆T0435展位期待您的莅临！
Overview
三英精控（天津）仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为科学研究、创新研发及高端仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成，满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。
三英精控（天津）仪器设备有限公司在纳米运动控制技术方面具有先进的技术和经验，并具有该类技术的自主知识产权。公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体，综合技术指标已达到先进水平。三英精控研发生产的产品涵盖大行程高精度运动平台、纳米和亚纳米运动控制平台、纳米位移电容传感器、精密运动控制集成系统等系列产品。
三英精控半导体装备精密运动控制解决方案：
半导体仪器和设备供应商面临重大挑战。所需的运动控制系统需要满足纳米级精度及稳定性、可靠性等严苛技术要求。在半导体光学检测中，在大尺寸重负载的条件下要满足纳米定位精度，同时满足高速和超高重复定位精度是至关重要的。
核心技术：
1）纳米运动控制技术
自主可控的精密运动控制核心技术体系，包含精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密测量精密集成，并参与制订两项国家标准。
- 大行程高精度气浮平台技术
高动态响应，纳米级气膜稳定性及平稳度。
3）宏微结合运动控制技术
丰富的宏动微动项目经验，从设计到集成制造环节的技术和相应的检测手段及验证方法。
典型应用：
光刻设备、晶圆键合装备、晶圆检测装备、纳米压印装备
三英精控（天津）仪器设备有限公司以丰富的半导体行业宏微结合系统，从设计到制造的经验，在符合半导体行业洁净标准的流程和环境控制下，能够制造及集成高精密半导体装备。
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