成立于 2020 年 6 月,上海协微环境科技有限公司由上海协微精密机械有限公司创始团队与韩国 GnBS 公司合作共同创办,专注于尾气处理设备研发、生产及销售服务,真空泵维修及真空产品销售的环境友好型企业。为客户提供专业的尾气处理器选型配置方案及运维指导。
产品遍及泛半导体行业(半导体、面板、太阳能、 LED)及高校、研究所、特气公司、工程公司的各类生产工艺,包括CVD、PVD、Diffusion、Etch 和 IMP 等,可安全有效处理包括氟碳化合物在内的各类有毒有害气体。