御微半导体是一家为集成电路制造提供先进装备的专精特新企业。公司聚焦于集成电路光学量测及检测装备的系统设计与系统集成,已经形成了服务于芯片制造、掩模版制造、晶圆衬底制造、基版制造4大领域9大类量检测产品。 公司以掩模缺陷检测、晶圆缺陷检测及晶圆套刻测量等核心装备为切入点,开展科技攻关,研制具有性价比优良、自主知识产权的集成电路量检测设备,实现高精密量检测设备国产化,其关键性能已达行业领先水平,并已长期为行业多家头部集成电路生产企业创造价值。