直拉法晶体生长系统CGS1218单晶炉
专为符合半导体行业的严格要求而设计。该系统采用模块化设计,且可以配置钢丝软轴或硬轴。配合独特的晶体轴配置能够达到最高的精度,因此确保了提拉速度的线性可调和可重复性。
CGS1218单晶炉的特点是其拥有一个组合式炉室,并允许在同样的热工条件下改变加料量。该系统可装载 32 – 36英寸热场,并配有交互式软件系统控制的单个或双摄像头。
产品数据概览:
最大晶棒直径: 12- 18英寸
晶棒长度: 最大2,100 毫米
装料容量 300公斤-450公斤
热场 32 – 36英寸